【摘 要】
：
氧化铪薄膜因其高的介电常数进入人们的研究视野，成为MOSFET中代替SiO2绝缘栅介质膜层的材料。随着锆铪分离技术的进步，人们对金属铪及其化合物的研究越来越多，铪的应用已经不仅仅是在核工业中。氧化铪所表现出来的一系列优异性能，尤其是在从可见到远红外波段良好的透过性，证明它有作为宽波段增透保护薄膜的潜力。本文综合讨论分析了氧化铪、氮化铪及氮氧化铪薄膜的制备方法，以对薄膜结构影响较大的工艺条件为研究对
论文部分内容阅读
氧化铪薄膜因其高的介电常数进入人们的研究视野，成为MOSFET中代替SiO2绝缘栅介质膜层的材料。随着锆铪分离技术的进步，人们对金属铪及其化合物的研究越来越多，铪的应用已经不仅仅是在核工业中。氧化铪所表现出来的一系列优异性能，尤其是在从可见到远红外波段良好的透过性，证明它有作为宽波段增透保护薄膜的潜力。本文综合讨论分析了氧化铪、氮化铪及氮氧化铪薄膜的制备方法，以对薄膜结构影响较大的工艺条件为研究对象确定了薄膜制备时的工艺参数。以反应磁控溅射方法制备了薄膜样品，分别在不同工艺条件下制备了氮化铪
其他文献
本文通过无转子硫化仪MDR2000、核磁共振交联密度仪、红外光谱仪、动态力学分析仪等分析方法,综合考察了朗盛化学公司生产的氢化丁腈橡胶Therban3407、Therban3467的过氧化物
党的十一届三中全会确定的方针政策,最初一般都表达为“对内搞活经济、对外实行开放”.陈云一贯倡导支持对外开放,利用外资和先进技术.在对外开放的历程中最具有标志性的就是
近年来,能源危机和水污染问题日益突出,已成为制约人类生存和发展的重要因素之一。废水中含有以可生物降解型有机物形式存在的能量,如果能在废水处理的同时回收这部分能源将是最佳的选择。微生物燃料电池(Microbial Fuel Cells,简称MFC)是一种利用微生物作为催化剂氧化有机物并直接将化学能转化成电能的新型装置。目前,该技术已被作为新型资源化技术应用于废水处理中,但因输出功率低等核心问题仍处于
一个典型的毒素一抗毒素系统(Toxin-toxin system,TA系统)由两个基因组成,一个是毒素基因,编码稳定的毒素蛋白;一个是其上游的抗毒素基因,编码不稳定的抗毒素蛋白。毒素蛋白
1920年,陈望道在《劳动界》上共发表了五篇论述劳工问题的文章.通过史料挖掘,可以看到作为具有初步共产主义思想的陈望道对劳工问题的认知.他认为应优先解决劳工的生活工作条
无膜电去离子技术(MFEDI)是一项新型的高纯水制备技术。论文首次提出了反渗透/除碳器/无膜电去离子(RO/D/MFEDI)制备高纯水工艺,并对其进行了研究,主要内容包括：对比RO/D/MFED
退休党员在城市社区党建中发挥作用,既壮大社会治理队伍的力量,也促进医院退休党员学在社区、乐在社区.需进一步完善多方协同、责任清晰的组织机制,特色鲜明、切实管用的活动
↑1.1990年11月26日,新中国成立后的第一家证券交易所——上海证券交易所成立,成为我国改革开放在资本市场领域的标志性事件.12月19日,上海证券交易所正式开业.上海证券交易