清洁生产是一种污染预防的先进理念,它涉及的泛围比较广泛,具体的实施方式也多种多样。围绕清洁生产“节能、降耗、减污、增效”的目的,各类组织（尤其是能耗高、物耗高、排污量大的生产企业）实施清洁生产最直接最有效的方法是进行清洁生产审核。2008年7月,环境保护部下发了《关于进步加强重点企业清洁生产审核工作的通知》标志着我国出台了相对全面的清洁生产法律、法规和制度。三氯氢硅用途广泛、前景良好,但其生产过程较为复杂,生产工艺流程长、设备多、物耗能耗高,且生产过程中涉及到许多有毒有害物质。在三氯氢硅生产行业实施清洁生产审核,有明显的环境效益并可以同步提高企业的经济效益和社会效益。论文概述了清洁生产的概念、发展历程、国内外研究和应用现状；介绍了三氯氢硅的物化性质、主要用途、主要生产工艺。从实施清洁生产审核的七个阶段出发,以河南省某三氯氢硅生产企业的清洁生审核为研究对象,介绍了每个审核阶段要做的工作、所用的方法、取得的成果,主要内容如下：①详细介绍了审核阶段制定的工作计划和宣传教育工作②从清洁生产的八条途径入手全面调查和考察了企业现状③针对审核重点进行了物料实测、物料平衡、废物产生原因分析④说明了方案的筛选结果,以合成炉余热利用方案为例说明了研制方案的一般方法、内容、程序⑤以合成炉余热利用方案为例说明方案可行性分析的一般方法、程序⑥说明了方案的实施情况和实施效果⑦介绍了企业为使清洁生产工作持续进行下去而采取的一些方法,重点介绍了企业制定的持续清洁生产计划。审核过程中共征集到清洁生产方案46项。其中,不可行方案2项；可行方案44项,已全部实施。企业原料硅粉利用率、三氯氢硅转化率均得到提高；单位产品蒸汽消耗由1.20t降低到1.06t,可节约蒸汽用量约5600t/a；单位产品硅渣排放量由13.1kg减少到5.55kg,可减少硅渣排放量约328t/a；厂区废水综合排放量由0.89t/t SiHC1₃减少到0.85t/t SiHC1₃,可减少废水排放量约1376g/a；单位产品电耗由200kwh降到195kwh,每年可节约用电量约1万度；此外,生产设备故障率降低,生产效率得到显著提高。