与传统轴承相比,主动磁力轴承具有无磨损、无须润滑、高精度、无污染,刚度、阻尼可控等优点,因此它的研究和应用在世界上许多国家受到重视。目前在国外已经研制出了几类磁力轴承,并开始应用于实际生产。在我国,磁力轴承的研究还处于实验室阶段,存在不少问题,其中一个重要的问题就是转子位移的精确检测。 本文就这个问题进行了一些探索,提出了基于数字信号处理器DSP(DigitalSignal Processor)的磁力轴承集成位移检测传感器,并对其进行了分析和研究。 首先,介绍传统的涡流位移传感器,分析其在磁力轴承转子位移检测方面存在的不可克服的问题。为了解决这些问题,提出了集成位移传感器的解决方案,给出集成传感器的结构框架,分析其检测转子位移的过程。 其次,运用对比分析的方法,具体比较传统涡流位移传感器和集成位移传感器的温度特性、线性特性、动态特性和电磁兼容特性。理论分析和实验结果表明,集成传感器能够解决传统传感器存在的问题,满足了磁力轴承转子位移精确检测的要求。 最后,进行了总结并展望了磁力轴承转子位移检测的发展前景。