【摘 要】
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众所周知，表面结构质量对常用机械零部件的传动、联结等功能有着至关重要的作用。同样，对于表面力起重要作用的MEMS而言，表面结构的质量对MEMS技术产品的特性也有着重要的作用，如
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众所周知，表面结构质量对常用机械零部件的传动、联结等功能有着至关重要的作用。同样，对于表面力起重要作用的MEMS而言，表面结构的质量对MEMS技术产品的特性也有着重要的作用，如MEMS表面粗糙度对MEMS电容的电容值有重要的影响，MEMS表面粗糙度对MEMS的毽合性能有重要的影响。现存的关于表面结构测量评定的方法主要是以轮廓法为主的二维测量评定方法，这些方法只适用于简单的加工过程控制。常用的几何精度设计和测试技术已经不能适应MEMS系统表面测量和评定技术的需求，现有的轮廓参数在评定产品功能特性方面逐显不足。因此，针对MEMS表面结构的测量评定，需要研究对MEMS表面实现更精确、更详细测量评定的三维测量评定方法。本论文以ISO／TC213(Dimensional and geometrical product specifications and verification)目前正在研究的可用于表面结构三维测量评定方法——区域法(Areal法)为依据，以MEMS对表面三维测量评定的迫切需要为出发点，基于标委会的先行预研的《微机电技术微几何量评定总则》标准项目，结合MEMS功能特性对MEMS表面结构进行以下几个方面内容研究：(1)分析研究MEMS技术的发展历程、现状，并对MEMS表面结构迫切需要三维测量方法的因素进行分析研究；(2)分析研究MEMS的定义及其显著特征；(3)分析研究新一代GPS体系中关于表面结构测量的标准体系，以及表面结构三维测量平的理论基础，并分析研究可适用于MEMS表面结构三维测量的参数；(4)结合新一代GPS体系中提出的表面结构三维测量评定理论和参数，深入分析研究基于MEMS系统功能的三维测量方法，并探讨规范的MEMS系统表面三维测量方案；
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