【摘 要】
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湿度作为重要的常规环境指标之一,其检测工作在农业管理,土木工程,电子工业制造,食品药品储藏以及生活保健等多个方面起到至关重要的作用。此外,近些年来,湿度检测在医学诊断中的呼吸检测作用也逐渐受到人们的关注。随着物联网技术发展对传感技术的需求提升,研制高灵敏、快速响应恢复、小型化、智能化、易集成的新型湿度传感器具有重要的应用价值。本文设计并制备了一种3DAG/PVA/Si O_2/SAW结构的延迟线型
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湿度作为重要的常规环境指标之一,其检测工作在农业管理,土木工程,电子工业制造,食品药品储藏以及生活保健等多个方面起到至关重要的作用。此外,近些年来,湿度检测在医学诊断中的呼吸检测作用也逐渐受到人们的关注。随着物联网技术发展对传感技术的需求提升,研制高灵敏、快速响应恢复、小型化、智能化、易集成的新型湿度传感器具有重要的应用价值。本文设计并制备了一种3DAG/PVA/Si O2/SAW结构的延迟线型声表面波（SAW）湿度传感器,对该传感器进行了湿度响应测试分析,并针对呼吸检测功能进行了采样测试。具体内容如下:1.设计了3DAG/PVA/Si O2/SAW结构的声表面波湿度传感器,采用射频磁控溅射法在SAW器件表面制备了Si O2薄膜,利用CVD法在Ta衬底上制备了高品质3DAG薄膜,利用聚合物PVA实现了3DAG的完整机械剥离与转移并制得3DAG/PVA/Si O2/SAW结构声表面波湿度传感器,对敏感膜各组分进行了表征测试分析。2.在标准空气环境中,对SAW湿度传感器进行了湿度响应测试,实验表明,传感器在高湿度环境下（55%–90%RH）灵敏度可高达-2.429 k Hz/%,分辨率可达0.10%,全量程范围内响应恢复迅速,重复性强,在15-55℃温度环境下稳定性良好,10天时间内长期工作性能稳定,且具有良好的气体选择性。3.测试了SAW湿度传感器的呼吸检测功能,对12名志愿者的呼吸过程进行采集与分析,得到了志愿者的呼吸速率（RR）及呼吸深度（RD）数据,验证了该SAW湿度传感器在临床呼吸检测方面的应用价值。
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