蓝宝石泡生晶体炉的热场测量技术的研发

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随着近年来半导体照明产业的快速发展,带动蓝宝石衬底需求快速增长。由于蓝宝石单晶材料具有优良的机械和光学性能,使其在LED光源的应用上有巨大的市场,随之蓝宝石晶体生长设备的需求量也与日俱增。当前普遍应用泡生法生长蓝宝石单晶的技术虽然趋于成熟,但是生长炉中坩埚热场变化,不能实时测量控制局部温度,温度梯度不能优化,成品率并未有很大提升,导致生产成本过高。大尺寸、低成本、高质量的蓝宝石单晶制备一直是蓝宝石生长技术的难点和重点。所以需要一套蓝宝石单晶生长炉内的温度测量标准方法,来改善炉内热场以提高晶体质量。本文从黑体辐射的基本理论知识,分析了当前红外辐射测温技术主要应用的两种方法,单色法和比色法。通过传统红外测温仪在晶体炉中的测量,结合热场模拟仿真比较两种方法的可行性,提出一套结构简单、测温精确、价格便宜,可以方便应用于蓝宝石泡生晶体炉热场测量的方案。本文设计并制作了一个便携式光纤辐射测温系统,整个系统包含了大功率光纤耦合器、传能光纤、光电探测器,前置放大模块,AD采样模块和信号处理模块等。具体描述了各个模块的作用及数据处理方法,并对本系统的测试性能做了详细验证。通过实验证明,本文研究的便携式光纤辐射测温系统稳定,精度可靠,测量范围适合蓝宝石的生长过程。该设计具有便携性,易用性,测量准确等优点,可以应用在生长蓝宝石泡生晶体炉的热场测量中。
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