【摘 要】
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扫描电子显微镜(SEM)是观测和表征微纳米尺寸,研究材料表面形貌的主要应用仪器。在利用扫描电子显微镜进行样品的原位高温拉伸试验时,由于受到高温样品及加热台所发射的热电子的影响,扫描电子显微镜的扫描图像会出现因热电子的周期性激发而产生的亮白色条纹。当温度足够高时,扫描图像会因热电子的干扰而呈现出完全的亮白色。为了解决扫描电子显微镜在图像采集时的干扰问题,获得清晰的原位扫描图像,对扫描电子显微镜的图像
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扫描电子显微镜(SEM)是观测和表征微纳米尺寸,研究材料表面形貌的主要应用仪器。在利用扫描电子显微镜进行样品的原位高温拉伸试验时,由于受到高温样品及加热台所发射的热电子的影响,扫描电子显微镜的扫描图像会出现因热电子的周期性激发而产生的亮白色条纹。当温度足够高时,扫描图像会因热电子的干扰而呈现出完全的亮白色。为了解决扫描电子显微镜在图像采集时的干扰问题,获得清晰的原位扫描图像,对扫描电子显微镜的图像采集系统进行研究并对低质量的采集图像进行处理。主要的研究内容包括:(1)研究扫描电子显微镜的扫描原理,数据采集原理,数据传输、放大原理、扫描电镜控制原理、热电子发射原理等相关理论知识,了解扫描电镜各个功能、模块的工作原理与用途,深入研究热电子发射与加热温度的相关关系以及加热温度对扫描成像产生的影响。(2)利用课题组已有的扫描电子显微镜对不同加热温度下的样品进行图像采集,并设计热电子检测平台,对存在热电子干扰的扫描图像利用热电子检测平台检测对应干扰的热电子电压值。(3)对加热灯丝进行电磁学仿真分析,研究磁场对扫描电子束和电子束轰击出的二次电子的干扰问题。(4)利用图像边缘检测算法找到受热电子干扰的像素点,利用扫描图像像素点与扫描时间相对应的关系,将采集到的热电子电压的相关数值与相关像素点进行一一对应。(5)研究图像处理算法,利用最速下降法及改进的天牛算法找到不同温度下热电子电压与热电子对图像干扰之间的数值关系。(6)采集一定的数据以后,进行扫描图像的修复试验,利用不同温度下采集的热电子电压值,结合图像处理算法对采集的图像数据进行实时处理,得到去除热电子干扰的扫描图像,将使用算法处理后的扫描图像与原扫描图像进行对比实验,验证算法的有效性。
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