三坐标测量机作为现代化的大型与多功能的精密测量仪器，已越来越显示出它的重要性和宽广的发展前景。它具有通用性强、测量准确可靠、数据处理方便等优点，并可适应自动化生产和柔性制造加工系统。但长期以来，三坐标测量机一直处于静态的测量方式，测量效率低下。随着现代制造业的发展，对三坐标测量机提出了更高的测量速度和精度要求，但测量机的动态特性限制了测量机测量速度的提高，其根本的原因是测量机动态误差对测量精度的影响。因此，迫切需要对三坐标测量机的精度测试技术及动态误差分析进行深入研究。本论文从静态和动态两方面对三坐标测量机进行了研究。首先，研究了坐标测量机基于静态模式下的精度检测和校准技术，并重点分析和评定了示值误差的校准不确定度。指出为了提高测量精度，应定期地对坐标测量机进行检测和校准，使其处于合理的受控状态。其次，本论文分析了测量机主要动态误差源，并以此为理论基础，重点研究了测头系统和机体结构对测量机动态误差的影响。对于测头系统，研究了测头系统动态瞄准误差的构成，提出测头作用直径的概念，并分析速度参数对作用直径的影响并建立了理论模型。对于机体结构，研究了机体动变形的产生机理并建立机体结构动变形与位移误差转换模型，从理论上验证机体动变形的空间相关性。本论文的主要目的是通过了解处于动态状态下的测量机的特性与精度，分析各种运行参数、测量机结构参数及环境因素对测量机动态特性及动态误差的影响。探讨三坐标测量机静态、动态误差之评定，为实现误差补偿，使三坐标测量机在高速运行状态下仍能保持高精度打下基础。