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近场超声悬浮(Near-field Acoustic Levitation,NFAL)在微机电系统零部件的加工制造方面具有十分广阔的应用前景。制约这项技术发展的关键在于此技术具有有限的承载能力,有时不能满足众多应用场合的要求。本文采用在悬浮盘表面上刻槽的方式,以增大其承载能力。同时,由于基于NFAL技术的传输系统具有非接触,无污染和无噪音等优点,因此,近场超声传输系统在某些特殊场合具有良好的应用前景。本文主要研究内容如下:(1)根据气体润滑理论,通过参数变换进行无量纲处理,建立近场超声挤压悬浮在极坐