【摘 要】
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该论文主要研究MEMS牺牲层工艺中的三个关键问题:一是由于机械结构层的应力作用,使结构发生形变;二是在湿法腐蚀牺牲层后,由于清洗液的表面张力作用,造成机械结构与衬底的粘
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该论文主要研究MEMS牺牲层工艺中的三个关键问题:一是由于机械结构层的应力作用,使结构发生形变;二是在湿法腐蚀牺牲层后,由于清洗液的表面张力作用,造成机械结构与衬底的粘附,使器件失效;三是在牺牲层腐蚀过程中,互连线的材料是铝时,腐蚀液对铝的影响.该文的主要研究内容,即牺牲层腐蚀、结构释放的实验研究,作者在基于升华法的基础上,开发了充分置换升华法的基础上,开发了充分置换升华法,使得防粘附的作用大大增强,获得了很好的结构释放成品率.实验中,还使用替换腐蚀液对牺牲层进行腐蚀,在保存铝的情况下,结构释放成品率完全不受影响.通过理论指导,反复实验,找到了上述问题的解决方法,建立了基本能适于表面MEMS加工的结构释放工艺.
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