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科技的发展使世界能源危机日渐显露,人类也越来越重视节约能源,开始探索新的节能方式。在人类生产的很大空间中,建筑物需具备隔热保温和采光两大功能。而(Low-E)玻璃,具有极高的节能效果,符合当今低碳生活的要求。本论文主要讲的是采用磁控溅射(PVD)的方法,在大面积平板玻璃上沉积数层金属、金属氮化物或氧化物薄膜,组成为阳光控制薄膜和低辐射薄膜,以此来对平板玻璃进行表面改性的深加工。根据膜系结构和颜色,在正式生产前以膜系的颜色、光学参数和表面辐射率等作为目标值,通过调试来确定其生产工艺参数后进行正式生产。对于生产后的镀膜玻璃,主要利用AFM (SPI3800N)、分光光度计、AE辐射计等进行测量、分析,用研磨试验,酸碱试验,耐氧化试验对镀膜玻璃的光热性能及薄膜表面形貌进行深入研究。所得结论如下:(1)三种膜系结构中,KR22(热反射)的生产工艺较简单,容易控制;Super-1(可钢单银Low-E)的生产工艺调试方面基本很完善了;CED12-46(双银Low-E)的膜层较多,结构复杂,工艺调试较难,但是企业已根据自己的镀膜线设备特点找到了一些规律,生产工艺正在逐步改进中。(2)从物理化学性能方面,KR22的耐酸碱耐磨性能比Super-1和CED12-46的性能好,所以不用合成中空,可以单片使用;而Super-1由于表面膜层也镀了硅的氧化物,可以在高温下烧制,从而变成钢化Low-E玻璃,也因其独特的性能,使得生产后的镀膜大板原片能异地加工,极大地提高了生产效率。(3)从光热性能来讲,在可见光区域,它们的透过率和玻面、膜面反射率都呈现不同的变化曲线。Super-1在可见光区域有很高的透过率,说明具有高透性;而KR22由于透过率低,极大地减少了室外阳光的透过,从而调节了太阳光进入室内的多少,但由于没功能银层而不具有低辐射功能,K值较大;CED12-46作为一种双银膜系,具有双功能调节的优异性能,节能效果非常明显。