钌是铂族金属,具有熔点高、密度大、抗氧化性差、不易机械加工等特性。目前钌粉的最大应用之一便是制造钌靶材。为了保障集成电路的可靠性,钌靶材对金属钌粉性能要求极高,用于溅射靶材的金属钌粉除纯度和晶粒尺寸严格要求外,晶粒结构须趋向球状或类球状。目前,我国靶用高纯球状钌粉的制备长期受国外技术封锁,严重阻碍了我国高端电子技术的发展。因此,开展球状钌粉制备研究对于突破溅射靶材用钌粉的国外技术封锁具有重要的意义。本文利用微波选择性加热的特点,在热重分析和微波介电性能研究的基础上通过喷雾造球和氮气气氛下微波煅烧成功制备出球状钌粉,具体研究如下:（1）氯钌酸铵-钌粉混合物料的微波介电性能研究。氯钌酸铵-钌粉混合物料的微波介电特性与物料的表观密度呈正比;在25～300℃之间,氯钌酸铵-钌粉的介电常数随温度升高不断增大,在300～500℃之间,氯钌酸铵-钌粉的介电常数随温度升高不断减小;钌粉添加量越多,氯钌酸铵-钌粉混合物料的微波介电性能越好。（2）（NH4）2Ru Cl6分解特性及动力学研究。氯钌酸铵的热分解过程分两个阶段。第一阶段为氯钌酸铵分解得到（NH3）4Ru3Cl12;第二阶段为（NH3）4Ru3Cl12自还原得到单质Ru。采用XRD对氯钌酸铵热分解残余物进行物相分析,结果表明氯钌酸铵在不通入H2的条件下,可通过自身分解的NH3将Ru（Ⅳ）还原为单质Ru。在310～380℃之间氯钌酸铵热分解反应的表观活化能为254.45 k J/mol,在380～430℃之间分解-自还原反应的表观活化能为222.59 k J/mol。（3）球形氯钌酸铵喷雾制备研究。开展了搅拌时间、溶液浓度、进料速度、干燥温度对氯钌酸铵粒径和形貌的影响研究,在搅拌时间2 h、溶液浓度0.02 mol/L、进料速度860 ml/h、干燥温度220℃试验条件下,制备得到了粒径均匀、球形度高、分散性好的氯钌酸铵。（4）微波煅烧氯钌酸铵制备球状钌粉研究。采用响应曲面法优化设计方法,研究了煅烧温度、煅烧时间和物料量对氯钌酸铵分解率及形貌的影响。建立了微波煅烧氯钌酸铵工艺的二次回归模型;在煅烧时间86 min,温度500℃,物料量26.6g的优化工艺条件下,氯钌酸铵的分解率为99.34%,钌粉形貌呈球形或类球形。