金刚石膜的制备及应用研究

来源 :长春理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lfw_1988
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本论文采用直流热阴极PCVD方法制备金刚石膜,研究了金刚石膜的制备工艺,包括气体压力、阴极温度和极间距离同放电电压的关系,以及甲烷流量、放电电流、气体压力和基片温度等条件对金刚石膜生长速率的影响。用拉曼光谱、电子显微镜等手段研究了金刚石膜的生长特性。 采用Ag<,72>Cu<,28>和钛粉作为钎料,在低真空环境下通过热扩散原理建立了大面积金刚石膜表面改性工艺,满足金刚石膜工具规模化生产要求。 研究了金刚石膜热导率,制备出了高热导的金刚石膜,满足金刚石膜在散热器件方面的应用;研究了金刚石膜的耐磨性,建立了金刚石膜工具的制作工艺,制作出高性能金刚石膜刀具、修整器等新产品。
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