该文对以反应烧结SiC为基体,采用化学气相沉积工艺制备的SiC薄膜进行了机械性能、物理性能的测试;并根据实际情况建立了适当的热应力模型,分析得出了薄膜以及基体内的热应力分布情况.分析测试的结果表明SiC薄膜具有优异的性能;对热应力的分析对于进一步完善SiC反射镜的设计及制造起到了一定的指导意义.对SiC薄膜的结合力、硬度、残余应力等机械性能进行了测试.采用划痕法测试了薄膜与基体间的结合力,分析得出的结果表明SiC薄膜与基体具有较高的结合力;薄膜表面相对于基体具有很高的硬度值,这使其拥有良好的耐磨性能,从而保证了薄膜表面的光洁度;讨论了残余应力的产生原因,并采用公式法计算了薄膜内的热应力,进而导出了本征应力,最后通过X衍射法测试了残余应力,室温下应力宏观表现为压应力.对SiC薄膜的表面形貌、粗糙度、厚度、耐热冲击性能、物相分析等物理性能进行了测试.X射线物相分析显示薄膜表面的成分为100﹪SiC;采用针触式轮廓分析仪分析得到薄膜的厚度在20μm左右;使用原子力显微镜分析了SiC薄膜表面的表面形貌及粗糙度,分析表明薄膜具有良好表面光洁度;热冲击实验显示出薄膜的优异热冲击性能.讨论了热应力有限元法的求解步骤和求解方程.利用通用的有限元软件ANSYS对SiC反射镜的热应力进行了数值模拟,分析得出了SiC反射镜镜面镜体不同区域的热应力分布,以及热变形情况.