采用等离子体技术对离心压缩机齿轮进行快速深层渗氮处理。采用膏体渗硼工艺对Inconel 718合金进行表面渗硼处理。为提高合金的强韧性,对渗硼处理后的Inconel 718合金进行固溶时效处理,即将渗氮工件加热到1050℃固溶,保温1h后空冷至室温,然后进行二段时效处理,在720℃下保温8h后,以50℃/h的速度炉冷至620℃,在620℃下保温8h后空冷至室温。利用光学显微镜、X射线衍射仪、电子探针分析仪、努氏显微硬度计、微摩擦磨损试验机和扫描电镜对渗氮层和渗硼层进行分析。在510℃温度下等离子渗氮10h、15h和20h后,渗氮层的厚度分别为275.34μm、341.25μm和502.33μm。渗氮层是由化合物层和扩散层两部分组成的,其中化合物层随渗氮时间的增加由ε-Fe_2-3N+γ’-Fe₄N双相层逐渐转变为γ’-Fe₄N单相层。由于渗层中氮化物的强化作用,经过等离子渗氮处理的试样表面硬度升高,摩擦因数减小,磨损体积显著降低。渗氮层的磨损机制以粘着磨损为主。Ineonel 718合金的渗硼层由硼化物层和扩散层两部分组成。由于渗硼层中高硬度硼化物（如Ni₂B和Ni₄B₃）的存在,渗硼合金的磨损速度大幅度减小,摩擦因数显著降低。固溶时效处理能够促进渗硼层中的B进一步向心部扩散,促进新硼化物（Fe₂B,CrB）的生成。固溶强化处理后的渗硼层厚度达到0.44mm,摩擦因数降低,具有良好的耐磨损性能。