石英谐振加速度计具有直接数字信号输出的优势,避免了A/D转换误差,成为高精度惯性导航领域的研究热点之一。针对高阻抗石英振梁起振困难的问题,设计了硅基石英谐振加速度计,针对高阻抗石英振梁设计了高增益激振电路,并就异质结构的硅基石英谐振加速度计温度敏感的问题,开展相关的温度补偿技术研究。分析了硅基石英谐振加速度计的工作原理,说明了采用差动结构方案的优点。根敏感元件石英振梁的电学特性,选用双门振荡原理,采用运算放大器+双门的方案设计了高增益激振电路。并设计制作了高增益激振电路PCB,与硅基石英谐振加速度计芯片采用一体化封装。利用安捷伦DSO5012A型号示波器和频率计对高增益谐振电路和石英振梁组成的谐振系统进行测试,测试结果表明:设计高增益激振电路与石英振梁组成的谐振系统可以输出标准的方波信号,输出频率精度达到10^-5KHz,在振动稳定以后的频率变化小于0.1Hz,且无泛音频率出现。针对硅基石英谐振加速度计输出频率测量的需求,基于FPGA平台设计了差动式石英谐振加速度计测频系统。采用FPGA+SPOC的设计方案,为了便于控制对SPOC进行软件设计,使用上位机对加速度计工作进行控制,增加了系统的兼容性。并对该系统进行测试,测试结果表明:其可以实现对加速度计双梁频率的同步采集,采集精度达到10^-8数量级。研究了硅基石英谐振加速度计频率输出随温度变化的特性,根据MEMS器件的特点决定选用软件补偿对石英谐振加速度计进行温度补偿。通过建立数据样本,选用多项式拟合和支持向量机算法相融合的办法建立了硅基石英谐振加速度计温度补偿模型。通过对温度补偿效果的验证,其实验结果表明:经过温度补偿的加速度计输出最大绝对误差由补偿前的0.2379/g减少补偿后的0.0079/g,零偏温度系数补偿后比补偿前下降2个数量级,标度因数温度系数补偿后比补偿前下降了一个数量级。补偿效果显著,大大降低了温度变化对加速度计输出频率的干扰,对研究石英谐振加速度计温度补偿具有重要的意义。