减反膜由于能够减少基底表面的反射而被广泛的应用于太阳能电池、光学器件、显示屏等器件中。减反膜通常可以设计为单层减反膜和逐级减反膜两类。单层减反膜在特定入射光波长时的透过率较高,但目前主要通过纳米粒子直接堆垛沉积、制备多孔结构和纳米粒子分散沉积等方法制得,这些方式制得的结构还有待优化。逐级减反膜可以实现宽波段减反且对入射光角度依赖较小,主要通过设计多层结构和仿蛾眼结构来实现减反性能,多层结构减反膜需要的层数较多且每层减反膜的折射率有严格的匹配关系,目前仿蛾眼结构减反膜的制备主要通过复杂的刻蚀技术。设计出光学性能好且结构可控的单层减反膜以及通过一种制备过程简单、成本低廉的方法来得到仿蛾眼减反结构成为了当前减反膜研究的热点。减反膜由于能增加基底的透过率可以将其应用于石墨烯透明导电薄膜。本论文利用空心SiO₂纳米球来调控减反膜的折射率,获得了密排布减反结构和仿蛾眼减反结构;并将密排布减反结构应用制备光电性能好的石墨烯/减反结构复合透明导电薄膜。本论文的研究内容如下:（1）通过溶胶-凝胶法利用实心/空心复合SiO₂纳米球制备了SiO₂纳米球密排布减反结构,该减反结构在可见光区的平均透过率可达到97.21%,最高透过率达到了98.50%。该方法可以制备出结构密排布且光学性能高的减反结构,体现了在性能和结构两方面的优势。（2）利用实心/空心复合SiO₂纳米球来组装仿蛾眼减反结构,该减反结构在可见光波段具有高透过率且入射光角度依赖小,在可见光区的平均透过率可达到97.75%。该方法制备仿蛾眼减反结构避免了复杂的刻蚀技术,体现了成本低廉、制备过程简单的优点。（3）在石英基底上组装实心/空心复合SiO₂纳米球密排布减反结构,然后通过常压化学气相沉积法铜箔催化制备出石墨烯/减反结构复合透明导电薄膜,有效地提高了石墨烯透明导电薄膜的光电性能,复合透明导电薄膜的电阻为0.688-0.879 kΩ·sq^-1,透过率由80.56%提高到84.69%。在石墨烯与基底之间组装纳米减反结构是提高石墨烯透明导电薄膜性能的一种有效方法。