激光三角法是现代工业检测技术中非常重要的非接触式测量方法,本文结合国内市场需求,研制了一款基于激光三角法原理的激光位移传感器,工作范围为50±10mm。该套系统成功的完成了激光三角法光路的光学系统设计、一维PSD微弱信号检测电路的自行搭建以及测量结果的非线性补偿。本文的主要内容及工作介绍如下:(1)在深入了解课题研究背景的基础上,调查分析了国内外仪器的相关技术水平,拟定了激光位移传感器研制的总体方案。(2)依据半导体激光器的发光特性及三角法的理想成像条件,采用系统分割的方法对整套三角法光路进行了设计,分别得到了优良的出射光斑及满足于Scheimpflug条件的成像效果。(3)设计了带反馈系统的半导体激光器驱动电路,具有良好的光源稳定功能。针对PSD输出电流信号的特点,成功的设计了一套PSD信号处理系统,电路设计构思独特,巧妙的实现了有效信号的提取、放大以及噪声的抑制,并附加了信号灯指示功能。(4)仪器各部分设计完成后进行了整机装调工作。装配与调试主要包括半导体激光器的安装固定、电路参数优化设计以及透镜最佳位置的设置等。(5)以光栅尺为工具对系统进行了标定,在标定数据的分析基础上,探讨了仪器的主要误差来源及相应的解决方法,并结合物象位移关系采用回归分析对非线性误差进行了补偿。