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该论文即研究以PECVD法制备的含有纳米晶粒硅薄膜的发光性质,希望得到具备稳定的较强发光而且又与硅平面工艺相容的硅基发光材料.
纳米硅/非晶硅镶嵌膜及超晶格的微结构和发光性质研究
【摘 要】
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该论文即研究以PECVD法制备的含有纳米晶粒硅薄膜的发光性质,希望得到具备稳定的较强发光而且又与硅平面工艺相容的硅基发光材料.
【机 构】
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南京大学
【出 处】
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南京大学
【发表日期】
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1997年期
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