薄膜热电偶是一种新型温度传感器,因其响应速度快、测量精度高、对被测环境影响小等优点,被广泛应用于航空航天、军火和化工等领域的温度检测,特别是航空发动机涡轮叶片、燃烧室内壁、枪膛等高温关键部位的测温。薄膜热电偶在研发和使用的过程中需要进行检定和校准,获得温度和电势的关系,从而保证其测量精度。国内外的检定校准设备大多是科研工作者根据需求自行搭建,存在温场均匀性差、温度波动度大、可靠性低等问题,导致薄膜热电偶的检定结果可信度低。为了顺利完成薄膜热电偶的检定校准工作,本文设计了一款检定校准装置,设计了专用于薄膜热偶的短型多区高温炉、参考端恒温器,选用了纳伏微欧测温仪作为数据采集设备。该装置能够完尺寸≤150mm*35mm的片状薄膜热电偶的检定校准工作。本文主要研究内容如下:（1）设计了航空用薄膜热电偶检定校准装置。根据薄膜热电偶检定校准的工作原理和传热学基本定律,设计了短型多区高温炉和参考端恒温器,并且对其整机结构、工作原理进行了详细的阐述,对加热和风冷循环系统、炉筒等关键零部件展开研究和设计。（2）进行了关键部件的温场仿真分析。建立了参考端恒温器工作区和多区高温炉炉筒的仿真模型,分析了模型的传热过程,采用Fluent软件进行仿真。分析了参考端恒温器工作区的温场分布情况,确定了工作区的材料以及保温棉的布置方式;研究了不同分区长度和加热功率对炉筒内温场的影响,确定了合适的加热丝分区长度和加热功率。（3）开展了多区高温炉和参考端恒温器的温场测试试验。设计了详细的试验方案,搭建了高温炉轴向温场测试平台、参考端恒温器温场稳定性测试平台。试验结果表明:多区高温炉的性能优于普通的单区高温炉,均匀温场长度可达到80mm,轴向温度梯度小于国家规程要求的≤0.4℃/10mm;参考端恒温器在全温度段的温度波动度均保持在0.25℃/10min范围内。（4）研究了基于最小二乘法拟合原理的薄膜热电偶热电特性曲线拟合。利用多区高温炉、参考端恒温器等装置搭建了薄膜热电偶测试平台,对In2O3/Zn O基薄膜热电偶进行了检定校准试验并记录了测试数据,使用测试数据在最小二乘法的基础之上对薄膜热电偶的热电特性进行了曲线拟合分析,最终得出使用5个温度点拟合出的2阶多项式拟合效果最好。