本文室温下分别在LSG和UV-cut玻璃基体上制备了具有不同层数的TiO2薄膜,并在不同温度下进行热处理。采用红外光谱(FT-IR)、热重分析(DSC-TG)、X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见分光光度计(UV-vis spectrophotometer)、场发射扫描电镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)以及纳米压痕仪等方法研究了热处理温度、不同玻璃基体、镀膜层数对薄膜结构、微观力学性能、光学及光催化性能的影响。采用甲基橙的降解率表征镀膜玻璃的光催化性能。结果表明:本实验采用的溶胶中含有锐钛矿型TiO2,平均晶粒尺寸为21.4 nm;当热处理温度升高到550℃,TiO2仍为锐钛矿型,平均晶粒尺寸增加到31.2 nm;随着热处理温度的提高,TiO2薄膜的堆积密度增加、粗糙度降低、薄膜更加光滑平整,且纳米压痕硬度、塑性指数和膜基结合强度逐渐增加,摩擦系数逐渐降低。经500℃热处理后,LSG和UV-cut玻璃基体上5层TiO2薄膜的纳米压痕硬度分别增大至1.0 GPa和1.2 GPa,塑性指数增大至0.3左右,摩擦系数分别为0.195和0.178。LSG玻璃基体上1层TiO2膜的结合强度由1584μN增大至3980μN,提高了151.3 %;UV-cut玻璃基体上的由1741μN提高到大于4500μN。LSG和UV-cut镀膜玻璃在可见光区的透射比高达80 %,在紫外光区低至5 %以下。LSG镀膜玻璃对紫外吸收的波段至340 nm,最大吸光度随热处理温度的升高而逐渐向多层移动,经500℃热处理后5层LSG镀膜玻璃提高到2.66左右;UV-cut镀膜玻璃对紫外完全吸收的波段拓宽至380 nm,吸光度稳定在2.84左右。在紫外光照射60 min后,经350℃热处理后的5层LSG镀膜玻璃对甲基橙的降解率高达51.67 %。