铁电薄膜在压电和热释电等微电子器件领域具有应用潜力。为获得出色的器件表现,铁电薄膜要先极化。如果制备的薄膜具有自极化,那么器件的制造成本将被显著降低。提升铁电薄膜自极化的稳定性是最近几年铁电领域的研究热点。传统的商用铁电测试系统在表征自极化铁电薄膜方面仍显不足。在低电压下的测试结果并不能反映自极化薄膜的真实极化状态。本论文针对电滞回线的定标问题、自极化稳定性的评估以及提高等开展了系统的研究工作。利用溶胶-凝胶法制备出了具有自极化的BiFeO3薄膜。根据电滞回线的饱和状态提出了合理的低电压下回线的定标方法。研究了延迟时间对回线缺口大小的影响确定了获得铁电畴充分backswitching的最短延迟时间。对比研究了电压测试顺序对电滞回线的影响;分析了高电压测量后薄膜内部缺陷对分布的变化及其对自极化稳定性的影响。对比分析了高电压测试后电容放置20分钟和一天后电滞回线。研究了预极化电压方向对电滞回线的影响,根据矫顽电压和缺口大小的变化分析了自极化稳定性。并从缺陷化学角度解释了自极化稳定性与预极化电压方向之间的关联。基于数据分析结果,提出了合理的提升自极化薄膜稳定性的方法。并提出了一种缺陷对梯度分布的薄膜结构,以进一步提升自极化薄膜的压电和热释电性能。本论文合理利用了电滞回线在测试过程中,高电压对自极化薄膜初始状态的改变,将自极化薄膜在高低电压下的表现进行对比研究,为寻找提升自极化稳定性的方法以及研发压电与热释电器件奠定了理论和实验基础。