随着对微小器件需求的增加和MEMS技术的发展,对微细电火花加工也提出更高的要求,提高微细电火花加工的微细化能力成为不少研究者的追求目标。放电凹坑的大小是决定微细电火花微细化的一个关键因素。要获得更小的放电凹坑,必须减少单个脉冲的放电能量。在实际的电火花加工过程中,微细电火花加工中一般采用的是RC脉冲电源,传统降低单个脉冲放电能量的方法主要从降低工作电源电压和加工电容C两方面入手。一般认为,降低电容的容值是一种较为理想的选择,但是电容的容值受到整个装置离散电容C’(一般在几百pF～几千pF之间)的制约。降低工作电源电压,当电压过低时,极间放电间隙非常小,间隙放电环境恶劣,这就要求更加精确的间隙控制技术。针对传统RC脉冲电源降低单个脉冲放电能量方法的局限性,本文提出了一种新的方法,在脉冲电源放电回路串接电阻R来降低单个脉冲的放电能量。基于微细电火花加工的基本原理,建立了改进RC微能脉冲电源电火花放电加工充放电回路的解析模型,对放电过程中电阻R对极间电压、峰值电流等参数的影响进行了分析,进而分析了R对降低单个脉冲放电能量的影响。随着放电能量的微细化,分布电容C’对单个放电能量的影响越来越不可忽略,本文还对电阻R对能否减少分布电容对单个脉冲放电能量的影响进行了探索。在理论分析的基础上,本文通过对微能脉冲电源关键技术的分析,设计和制作了以PIC单片机和复杂可编程逻辑器件CPLD(Complex programmable Logic Device)为控制核心的微能脉冲电源。该电源可以在晶体管式和改进RC微能脉冲电源两种电源模式下工作,结合了两种电源模式的各自优点,实现了粗、中、精加工的组合。针对工艺实验需要,该微能脉冲电源还可实现单脉冲放电。最后对微能脉冲电源进行了调试,工艺实验研究,结果表明:改进RC微能脉冲电源存在放电维持电压,并且维持电压值大小与回路中的电阻R值无关;随着R的增大,极间峰值电流变小,单个脉冲放电能量减少,能够得到微小的放电凹坑,有利于微小化加工;电阻R有利于降低分布电容对单个脉冲放电能量的影响,验证了理论分析的结论。