论文部分内容阅读
三氧化钨(WO3)薄膜是一种重要的功能材料,因具有良好的电致变色、气致变色、光致变色、电化学性能而得到广泛的研究和应用。本论文对三氧化钨的氢敏机理做了相应的阐述,由于纯三氧化钨薄膜在常温下对氢气不敏感,本文采用掺杂钯或铂来改善三氧化钨薄膜材料的氢敏性能。本文采用溶胶-凝胶法与磁控溅射法相结合来制备三氧化钨的掺杂薄膜,此种方法将综合溶胶-凝胶法与直流磁控溅射法的优点,其薄膜疏松多微孔,充分快速响应了铂或钯催化剂离化的氢,具有良好的氢敏性能,是制备氢气传感器薄膜的非常好的方法。