基于MEMS技术制作的微Fabry-Perot可调谐滤波器在微型光谱仪、密集波分复用的光通信系统中有广泛的应用前景。与其他可调谐滤波器相比，它具有体积小，易与激光器、探测器或调制器集成、可调谐光谱范围大，光谱分辨率高等优点。本文以微型滤波器作为研究对象，提出了一种光栅与Fabry-Perot腔相结合的新型MEMS Fabry-Perot滤波器结构，这种滤波器既能保证较宽的自由光谱范围又能够获得较窄的半波宽。从实现机理、参数设计和选择，对Fabry-Perot滤波器的结构进行深入分析。主要内容包括：(1)对微型Fabry-Perot滤波器的研究现状进行深入调研，分析现有微型光谱仪器的性能及面临的困难；提出由光栅与Fabry-Perot腔组成的微型结构设计方案，即能保证较宽自由光谱范围，又能有效提高光谱分辨率。(2)分析了新型Fabry-Perot滤波器的工作原理，着重讨论分光系统对入射平行光的光强调制作用，并分析其光学特性。(3)利用IntelliSuit有限元分析，对设计的Fabry-Perot微桥结构进行了驱动性能模拟，并分析了器件的平行度和稳定性。通过选择不同的微桥桥面厚度(0.5μm，0.6μm，0.7μm，0.8μm，0.9μm，1μm)，比较微桥在静电力作用下的平整度，发现当微桥表面厚度为1μm时，得到了一个较优结果，在5V电压下，上反射镜的倾斜位移L为9.11nm，最大腔长变化量为242nm。(4)详细介绍了Fabry-Perot滤波器中需要用到的加工技术，光刻、沉积、刻蚀、表面微加工技术等。并且分析了工艺过程中可能会出现的一些问题，如薄膜应力控制、牺牲层的释放等，针对这些问题给出了相应的解决方法。最后，利用表面微加工技术，探讨性的提出了滤波器的工艺制作流程。