一种新型可折叠场致发射阴极制备工艺研究

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场致发射显示器(FED)兼具阴极射线管(CRT)的高亮度、高发光效率、宽视角、响应速度快、耐严酷的高低温和液晶显示器(LCD)的薄型、低功耗等特性。在发光效率、亮度、视角、功耗等方面具有相当的优势,因此FED被认为是最有前途的平板显示器件。本论文围绕着一种可折叠的场致发射阴极开展了一系列理论与实验工作,全文主要研究工作包括以下几个部分:(1)通过对国内外场致发射阴极制备的历史现状的研究和各种工艺特点的比较分析,在本研究中确定采用湿法腐蚀微加工工艺制备倒微锥孔洞阵列母模,利用此制备聚合物阵列微锥衬底,并采用脉冲激光沉积GaN薄膜制备场致发射阴极的工艺方案。(2)研究了场致发射的相关基础理论,从理论上讨论了场致发射电流与发射体的关系,为微锥场致阴极的制备提供理论依据。(3)讨论了脉冲飞秒激光沉积GaN薄膜以及脉冲纳秒激光沉积GaN薄膜的物理过程和机理。(4)分别采用飞秒脉冲激光和纳秒脉冲激光在聚合物微锥阵列上沉积GaN涂层,制得场致发射阴极。(5)比较了这两种场致发射阴极的结构和场致发射性能,分析比较发现采用飞秒脉冲激光沉积GaN薄膜可以制得较好质量的场发射阴极。总之,通过对场致发射阴极制备的理论与实验研究,提出了一种可折叠的场致发射阴极的制备方法,将为新型场致发射显示器研究奠定理论基础,提供实验经验。
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