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本课针对MEMS封装设备中高速精密平面定位机构的轨迹生成和封装头驱动单元的力控制这两个关键技术进行研究。
在封装运动机构建模方面，建立了高速精密平面定位机构的运动学和动力学模型，以及封装头驱动单元在无封装力作用下和有封装力作用下的数学模型。
在封装运动机构的平面轨迹生成方面，分析了高速精密平面定位机构在工作空间内速度和加速度的特性，提出一种可达最大速度和最大加速度的计算方法，并且基于系数存储法实现了简单、高效的快速运动轨迹生成。
在封装运动机构的封装力控制方面，研究了封装头驱动单元的精确位置控制和力反馈控制方法，建立了“力环包容位置环”结构的封装力控制实验系统。