自石墨烯被发现之后,二维材料因其优异的性质带来了很多新的研究热点,其中就包括基于悬浮二维材料的纳米机械系统。悬浮二维薄膜质量极小,因而能在极微小的力的驱动下振动。对二维薄膜的振动的探测能定量成像其振动模式。识别薄膜的振动模式,将使测量驱动薄膜振动的力成为可能。光学方法是探测二维薄膜振动常用的方法之一。激光垂直入射向基底时,反射光会和入射光耦合形成驻波,位于驻波电场中的二维薄膜的简谐振动会调制反射光光强。反射光光强的波动在频谱中表现为一个尖峰,而峰值取决于激光入射位置薄膜的振幅。因此,通过测量反射光光强频谱的峰值在薄膜所在平面内的分布可以成像薄膜的振动模式。我们搭建了扫描系统用于定量成像薄膜的振动模式,该扫描系统将通过使用微机械平台移动包含样品的整个真空腔来实现扫描测试。为了证明该装置的性能,我们进行了一维稳定性测试和二维扫描精度测试。测试结果表明,该装置能够承载真空腔的重量,具备亚微米级的移动步和超过50 μm的扫描行程,并且具有较高的扫描稳定性和精度。扫描系统的性能达到了预期的目标,满足成像二维薄膜振动模式的使用需求。基于扫描测试装置,我们介绍了一种用于测量聚焦激光束半径的新方法:通过移动样品,使金微结构和基底的分界线逐渐穿过激光光束的横截面,同时测量反射激光的功率,使用计算得到高斯函数拟合测量数据得到激光光束的半径。使用该方法测量得到的最小光束半径与理论计算值基本一致。