沈阳机床集团与东北大学设备诊断工程中心拟联合研制多工位高精度坐标镗床。该镗床为实现超长滑枕的多工位超精密加工而设计。其中,滑枕内孔表面粗糙度在线测量是该镗床设计研发中的重要环节。基于此背景,本文对滑枕内孔表面粗糙度测量技术进行了预研。本文首先总结了表面粗糙度检测技术的国内外研究现状。测量方向、取样长度和评定长度的选取、评价参数的确定是表面粗糙度测量的首要工作。本文对表面粗糙度光纤式测量技术的原理进行了计算分析。传感机理的验证,测量距离、有效宽度和采样频率的确定是表面粗糙度光纤式测量原理分析的重要部分。传统的接触式测量仪器容易划伤被测表面,应用受到一定的限制。现有的非接触式测量仪器存在不能在线、实时测量的缺点。在小空间、在线、高精度的设计条件下,本文选择方案,拟设计表面粗糙度光纤式测量系统。对表面粗糙度光学传感系统、滤波电路进行设计；对控制测量过程的数据采集卡和步进电机进行选型。设计的系统测量精度高、结构简单,并且支持在线、实时测量。对测量系统输出的数据需进行处理,本文建立了数学模型。利用小波变换进行信噪分离；进行表面轮廓的中线方法的选择；对光纤式测量系统输出的二维曲线,进行了表面粗糙度参数的求取。经方案选择、系统设计和数学模型建立后,表面粗糙度测量的目的得以实现。本文进行了离线实验测量,有针对性的选择实验样块,进行表面粗糙度测量。据建立的数学模型,对实验数据进行了处理。根据实验结果,验证了数学模型的正确性。最后,本文对设计系统进行了误差分析,总结了论文的研究成果,提出了进一步的研究方向。