SiNx:H薄膜中原子键合对电池特性和钝化效果的影响

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【摘要】

：

PECVD沉积的SiN_x:H薄膜具有优良的减反射作用和对材料的钝化作用等优点,这使其在太阳电池的大规模生产中得到了非常广泛的应用。在高效太阳能电池研究中,表面钝化和减反射一直是其研究的主题。电池正面不仅要求表面钝化层有优良的钝化性能,同时也要求介质层能够与表面层减反射膜一起产生很好的减反射效果,从而进一步提高太阳电池器件的光生电流、开路电压以及电池效率。本文研究了利用等离子体增强化学气相沉积(P

【作者】

：

施旸

【机构】

：

上海交通大学

【发表日期】

：

2010年01期

【关键词】

：

SiN_x:H 气流比折射率少子寿命效率原子键合浓度

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