多晶硅碰壁检测技术研究

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多晶硅碰壁检测仪表是生产多晶硅提纯生产线中的一个装置,它属于调压柜的一部分,硅在高温下可以提纯为多晶硅,这个过程中,由于时间过长硅棒会变软,弯曲,可能会碰到炉壁,而炉壁的耐热温度低于硅棒自身的温度,时间过长硅棒就会将炉壁烧坏,这样炉内的有毒气体就会外逸,造成人员伤亡,这种情况是非常危险的。目前国内还没有能够检测出多晶硅碰壁的装置,只能通过人工看守。 多晶硅碰壁检测仪表主要功能就是为了解决国内的这个问题,当硅棒受热弯曲碰到炉壁时,能够及时报警,进行相应的处理。所以,研制出多晶硅检测仪表在国内有着重大的意义。单晶硅两端加高压,炉壁与大地连接,同时将检测仪表外接在炉子外部,当硅棒碰到炉壁时,会产生电流,而外接检测仪表本身也有一个电源装置,硅棒碰壁时也产生电流,两者电流叠加会产生更大的电流,将电流通过功率放大装置放大,经过采样装置将电流信号采集出来,再通过滤波装置消除其它无用的谐波,最后用比较装置判断信号是否满足碰壁的要求,如果满足碰壁条件,报警装置就会发出信号,进行相应的处理。系统硬件是基于模拟电路,数字电路设计而成,低压检测板核心芯片是ICL8038和OPA547T,产生高频信号,将此信号送到高压检测板,高压检测板与多晶硅还原炉连接,达到检测的目的。
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