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油扩散泵是目前用来获得高真空的工具之一,其应用领域较为广泛。它具有成本低,结构简单、制造容易、无机械传动、无振动、无噪声、操作方便、便于维护、寿命长等特点。油扩散泵的抽气速率和返油率是反应油扩散泵工作性能的重要指标,而如何提高油扩散泵的抽气速率和降低返油率一直是相关研究单位关注的重点。一般来说,在结构上影响扩散泵抽速的因素主要是喷嘴直径、喷嘴喉部间隙、各级间距、腔体形状等。本文通过对KT-400油扩散泵的设计计算初步确定了油扩散泵的结构尺寸,利用Solidworks进行三维建模并使用计算流体力学的软