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磁光记录光盘普遍使用的介质是稀土(RE)-过渡族金属(TM)合金非晶薄膜,其代表性材料为Tb-Fe-Co合金,并已获得实用化。Tb-Fe-Co合金薄膜由于具有大的磁各向异性Ku,其在磁光存储方面的应用被深入的研究。目前Tb-Fe-Co合金薄膜主要采用真空蒸镀和磁控溅射等物理方法制备,这些方法存在成本高、效率低、沉积层组成不易控制等缺点。本文通过对多种离子液体电解液体系的对比,选定离子液体[BMIM]BF4做为电解液,在其中单独加入Fe(BF4)2和同时加入Fe(BF4)2和Co(BF4)