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针对半导体气体传感器对较低浓度甲醛响应小的问题,本论文采用预富集方法,先将低浓度甲醛用吸附剂富集,测量时加热吸附剂使富集的甲醛瞬间放出,在不改变输入的甲醛浓度的情况下,提高了半导体气敏元件对甲醛的响应。介绍了SnO_2气敏元件的制作过程,并测试了其基本气敏特性。SnO_2对甲醛气体的最佳工作温度为265℃,气敏元件的电阻随着工作温度的升高先降低后升高再降低,对甲醛的响应随着甲醛浓度的升高而增大。研究了吸附相关理论,组建了由吸附管、吸附剂、加热丝、热电偶、不锈钢丝网和稳压电源组