随着MEMS技术的迅速发展，MEMS器件的应用领域不断扩大，这就对MEMS CAD软件的性能提出了更高的要求。一方面，MEMS器件的多样化要求MEMS CAD系统具有更多的设计功能，设计工具日益庞大化；另一方面，不同MEMS器件的功能、原理、形式各异，要求MEMS设计工具能够提供多样化的设计流程。　　 本论文提出了一种新的MEMS CAD软件架构，采用模块化的软件设计思想，把MEMS设计过程划分为一些不同的设计功能，对每种功能分别用独立的模块来实现；采用框架管理系统来实现对各个模块的管理，框架管理系统通过调用相关的软件模块来完成MEMS设计过程；将设计中产生的中间数据从程序中独立出来，现实数据库管理，模块之间的数据传递均通过数据库来实现。这样的架构有利于实现多样化的MEMS设计流程，同时也便于软件功能的扩展和升级。　　 围绕着这一主要工作，本论文在实验室原有工作的基础上，首先对MEMS CAD软件系统做了功能划分，将软件原有的设计功能划分为版图解析、三维结构生成、节点单元划分和初始网表生成等独立的功能，并分别建立软件模块实现了各部分功能的独立运行。　　 开发了软件的框架管理系统，在框架中实现了各个功能模块的调用接口，软件框架通过对不同模块的调用来实现灵活的设计流程，完成MEMS的设计。框架中还实现了对第三方软件的动态加载功能，便于软件功能的扩展　　 在软件对数据的管理上，采用数据与功能模块相分离的方法，将MEMS设计中产生的各种中间数据从程序提取出来，实现数据在数据仓库中的存储。为每一种数据的存储格式定义标准，并参照数据的存储格式开发数据接口实现软件对数据的读写操作。　　 另外，本论文还开发了网表转化规则的生成模块，通过鼠标交互方式开发了伪元件的生成方法，并通过对话框界面对数据库中数据的调用，实现了用户定义的伪元件与单元库中宏模型的关联，并最终通过对伪元件的连接输出网表转化文件。