【摘 要】
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1.阐述了微型电子机械系统(MEMS)在国内外研究状况,列举了MEMS实际应用研究成果,指出MEMS发展过程中存在的若干问题,总结了微静电MEMS的若干性能评价指标.2.给出有关多尺度法
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1.阐述了微型电子机械系统(MEMS)在国内外研究状况,列举了MEMS实际应用研究成果,指出MEMS发展过程中存在的若干问题,总结了微静电MEMS的若干性能评价指标.2.给出有关多尺度法和奇异性理论的基本知识,讨论了MEMS系统的建模.在对现有几种具有典型结构的微静电开关模型的分析基础上,考虑机械、静电、气隙方面的非线性因素,建立了一种具有代表性的微静电开关模型作为该文的研究对象.3.从数值和理论两个方面研究了上面所选的微静电开关系统的单模态非线性动力学.导出系统单自由度非线性运动方程(保留到三阶非线性),用多尺度法求的平均方程;用奇异性理论讨论了系统的定态分岔,得到外激励电压的频率m<,1>≈w<,0>/3时系统中存在的各种分岔.4.从数值和理论两个方面研究了所选MEMS系统双模态非线性动力学.证明了系统正交性的条件;导出了系统双自由度非线性运动方程(保留到三阶非线性),利用多尺度法求的平均方程;用奇异性理论讨论了方程在非内共振时当外激励电压的频率m<,1>≈w<,1>/4且v<,0>=0的共振情况下的分岔,发现此时系统中有比较复杂的分岔现象发生.用数值方法分析了静电激励变化导致的分岔,可以发现倍周期分岔、逆倍周期分岔同样发生在频率m<,1>足够小,振幅a<,0>足够大处.
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