Q235钢表面磁控溅射沉积钨薄膜工艺参数及性能研究

来源 :桂林电子科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:allenhuqiqi
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LED被称为第四代光源,具有节能、环保、安全、寿命长、低功耗、低热、高亮度、防水、微型、防震、易调光、光束集中、维护简便等特点,可以广泛应用于各种指示、显示、装饰、背光源、普通照明等领域。金属钨具有良好的导热性、导电性及焊接性能,在Q235钢LED支架(简称Q235钢,下同)表面,用磁控溅射沉积金属钨代替电镀金属银,可以节约金属银、减少环境污染、降低生产成本。  本项目与企业合作进行初步的探索性基础和应用研究。利用磁控溅射技术,在先期已经沉积金属铜的Q235钢基体表面再沉积金属钨薄膜,并研究了工艺参数对于金属钨薄膜的组织结构、物理和力学的影响。利用WS‐2005型附着力自动划痕仪进行金属钨沉积层结合力检测;利用JEOL/JSM‐5610LV型SEM和蔡司光学金相显微镜进行复合镀层表面质量、表面形貌、组织状态、组织特征和沉积厚度进行检测和表征;利用Bruk‐er‐axs‐D8型X射线衍射仪进行镀层的结构分析;利用SEM进行复合镀层表面成分分析及分布均匀性研究;利用表面电阻检测仪进行电导率的检测;利用金线与基体进行焊接,并检测焊接性能;利用专用仪器检测复合层导热性;考核复合镀层在DHG‐9015烘烤箱中的耐高温性能并对其部分使用性能进行检测。  研究结果如下:  1.溅射时间的影响  (1)沉积层厚度随着溅射时间的增长呈非线性增加,溅射时间分别为20min,30min,40min,50min时,对应的沉积层厚度分别为1μm,2μm,2.5μm,3μm;  (2)沉积层与基体材料间具有良好的结合力,溅射时间分别为20min,30min,40min,50min时,对应的结合力分别为19N,22N,28N,32 N,其中溅射时间为50min试样结合力最高,达到32N;  (3)随着磁控溅射时间的增加,表面硬度也在增加。溅射时间分别为20min,30min,40min,50min时,对应的沉积层硬度分别为189.6 Hv0.05,195.4 Hv0.05,201.3 Hv0.05,230.0 Hv0.05,其中在50min时最高,为230.0 Hv0.05;  2.溅射功率的影响  (1)功率为0.9kW时,沉积层厚度大概为1μm,功率增加到1.3 kW时,沉积层厚度大概为2μm,功率为2 kW时,沉积层的厚度约为2.5μm。随着溅射功率的增大,沉积层的厚度也在增加;  (2)溅射功率为0.9kW,1.3kW,2.0kW时,对应的平均结合力分别约为28N,30N,32 N。适当的提高磁控溅射功率可部分提高结合强度;  (3)随着磁控溅射功率的增加,沉积层表面硬度整体上并没有太明显的变化。溅射功率为0.9kW,1.3kW,2.0kW时,对应的表面硬度分别为206.4Hv0.05,180.9Hv0.05,180.3Hv0.05。电流为2A时,沉积层表面平均硬度为206.4Hv0.05;  3.负偏压的影响  (1)溅射负偏压为‐100V时,沉积层厚度大概为0.5μm;负偏压为‐200V时,沉积层厚度大概为0.6μm;负偏压为‐300V时,沉积层厚度大概为2μm;负偏压为‐400V时,沉积层厚度大概为1.8μm。随着负偏压增大,沉积层薄膜的厚度先增加后减小;  (2)溅射负偏压为‐100V,‐200V,‐300V,‐400V时,对应的平均结合力分别约为20N、40N、42N、23N。负偏压为‐300V时,结合力最好,为42N;  (3)负偏压的变化对试样表面硬度没有很明显的影响。溅射负偏压为‐100V,‐200V,‐300V,‐400V时,对应的表面硬度分别为202.2Hv0.05,189.5Hv0.05,184.3 Hv0.05,187.2 Hv0.05;  4.沉积温度的影响  (1)不加热时,沉积层厚度大概为1μm;温度为100℃时,沉积层厚度大概为2μm;温度为150℃时,沉积层厚度大概为2.2μm;温度为200℃,沉积层厚约为2.5μm。随着磁控溅射温度的增加,钨沉积层的厚度也增加;  (2)磁控溅射工作温度为不加热,100℃,150℃,200℃时,对应的平均结合力分别约为15N,30N,25N,22N。磁控溅射温度为100℃时结合力最好,为30N;  (3)磁控溅射工作温度为不加热,100℃,150℃,200℃时,对应的表面硬度分别为161Hv0.05,396Hv0.05,210Hv0.05,178Hv0.05。随着磁控溅射温度的增加,试样表面硬度升高后降低。在磁控溅射温度为100℃时,表面硬度值最高,为396Hv0.05。温度超过100℃后,再增加温度,表面硬度反而降低了;  5.性能的研究结果  (1)表面处理支架的表面存在着白膜现象,可能会影响到焊接性能,有待进一步研究提高;  (2)将经过固晶的试片进行焊接处理,焊线无PR识别不良。但是支架表面镀层粗糙(主要是绿管负极),存在二焊不良隐患,生产过程中,在二焊焊不上的比例较高,有待进一步研究提高;  (3)用微欧计检测沉积钨层的导电性:电阻率小于1.5×10-6Ω.m,电阻温度系数小于0.0052/℃,达到了预期的技术指标;  (4)抗氧化性:用烘烤箱在温度为180℃条件下烘烤8个小时不变色,完全满足使用要求;  (5)表面处理支架成品在冷热冲击试验100回合后,灯珠较白,产线正常品的灯珠胶体黄变较严重,表面处理的试样与胶水的结合性能较好,Ag层支架功能区下表面未被红墨水渗透,新表面处理支架功能区下表面、尤其是碗杯下表面被红墨水渗透严重,说明密封性不好,有待进一步研究提高。
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