本文采用真空镀膜工艺分别在微晶玻璃衬底上沉积了金叉指电极和WO3 薄膜,在实验中WO3薄膜分别在300℃—600℃范围内进行了退火热处理。实验中采用SEM、XRD、AFM 等手段对制备的WO3薄膜进行了分析。分析表明,随着退火热处理温度的升高,WO3 晶粒逐渐增大,并逐渐从非晶态向晶态转变,最终得到了六方结构并且是在<100>方向上择优取向的WO3 薄膜,获得了稳定性较好的工艺条件。最后对WO3 敏感膜进行了湿度及NO2 敏感特性测试,在分析退火温度对WO3薄膜湿敏特性和NO2敏感特性造成的影响中发现:退火温度为500℃样品和退火温度600℃为样品都随着相对湿度升高,阻值变小,变化规律与感湿机理是一致的。元件对于NO2的敏感性很大程度上依靠元件的热处理条件和工作温度,退火热处理温度为600℃、工作温度为200℃的元件有较好的敏感特性。