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薄膜体声波谐振器(FBAR)具有体积小、结构简单、灵敏度高、可集成和与半导体工艺兼容等优点,被广泛应用在生物、化学、物理等工业生产或实验研究领域。与典型的体声波谐振器石英微量天平(QCM)相比,FBAR传感器的电极厚度相对于压电层已不可忽略,并且电极层的性质有可能提升FBAR传感器的性能,但目前关于电极层对FBAR传感器性能的影响规律的研究并不系统。因此,本文系统的研究了单面电极特性及双面电极特性对FBAR质量传感器和粘度传感器的灵敏度及品质因数(Q)的影响。首先,本文根据Mason模型和一维传输线模型,对单面电极FBAR质量传感器和FBAR粘度传感器建模,推导出了 FBAR质量和粘度传感器的阻抗公式、灵敏度和Q值计算公式,仿真分析电极层的性质对FBAR传感器性能的影响规律。研究结果表明电极层的特征声阻、厚度及品质因数对传感器的灵敏度和Q值有很大影响;低特征声阻电极有利于传感器灵敏度的提升,高特征声阻电极不利于传感器灵敏度的放大:此外,选用合适厚度的高品质因数低特征声阻材料做电极,传感器的灵敏度和Q值都可以得到提升。其次,在单面电极FBAR质量和FBAR粘度传感器模型的基础上,对双面电极FBAR质量传感器和FBAR粘度传感器进行建模,推导出双面电极变化时传感器的灵敏度和Q值计算方程,并仿真探究电极层的性质对FBAR传感器的影响规律。仿真结果表明,双面电极层的特征声阻、厚度及品质因数都对传感器的灵敏度和Q值有很大影响。在检测端单面电极对FBAR传感器灵敏度和Q值影响规律的基础上,增加非检测端高品质因数电极层的厚度,FBAR质量传感器和粘度传感器的灵敏度随非检测端电极厚度的增大而减小,传感器的Q值随非检测端电极厚度的增大而增大。最终,根据上述理论仿真结果,本研究可为高性能FBAR质量传感器和粘度传感器的设计提供方案。