反射镜是激光系统中必不可少的光学元件,它的抗激光损伤能力严重影响着激光系统的使用寿命,制约着激光器向高能量、大功率方向发展。为了使激光系统实现稳定的高能量输出,必须对激光高反膜的损伤机理进行深入研究,明确其激光损伤机制,设计并制备出性能优良的抗强激光高反膜。本文以金属-介质高反膜为研究对象,它具有结构简单、反射区域宽、反射率高、机械性能稳定、易于制备等优点。论文通过对薄膜激光损伤理论的分析,设计并采用热蒸发方法在K9玻璃基底上分别沉积了金属银(Ag)和铝(A1)膜,并在金属膜层上加介质保护膜。通过改变沉积过程中基片的温度,研究沉积温度对样片的光学性能和激光损伤性能的影响。基于1-on-1的损伤测试方法、散射光强和图像法损伤判定标准,采用脉宽为10ns的1064nm调Q Nd:YAG脉冲激光器,对金属介质膜的损伤阈值和损伤形貌进行了测试,为后续激光预处理提高高反膜的损伤阈值奠定了基础。实验结果表明,金属银-介质膜的抗激光损伤特性优于金属铝-介质膜。在最优的工艺参数下制备的金属银表面沉积9层介质保护膜时,它在1064nm处的反射率峰值为99.57%,激光损伤阈值为6.91J/cm2。对金属-介质膜进行激光预处理后,其激光损伤阈值比未处理时提高了56%,薄膜的抗激光损伤能力得到了明显的改善。研究结果表明：基于薄膜的激光损伤理论设计激光高反膜的膜系,选择优良的抗激光损伤薄膜材料,在合适的沉积温度下,制备得到的激光金属-介质高反膜,其抗激光损伤特性有一定的改善,对激光高反膜进行激光预处理后可大幅度提高薄膜的激光损伤阈值。