同步辐射光具有辐射功率高、光谱广阔连续、准直性高、亮度高、偏振性好等优于普通光源的特点。第三代同步辐射光源上海光源的建设使这些优点更加明显，它比第二代光源具有更小的发射度和更高的光谱亮度，同时对光源光束线上精密光学元件也提出了更高的要求。　　 同步辐射光束线包括聚焦镜、准直镜、单色器、精密可调狭缝、束流位置探测器等。聚焦镜和准直镜的表面质量和形貌参数将直接影响聚焦或准直后的光束质量，影响光束线的传输性能。由于x射线的光学性质，光束线中大量使用掠入射模式，由此决定了所使用的光学元件一般均为横向较窄而轴向甚长的长条状。为了保证同步辐射光束线的传输效率，新一代同步辐射光束线要求镜子工作表面的斜率误差(slope error)在3μrad以下。因此精确测量反射镜的表面轮廓对于同步辐射光束线的整体质量非常重要。　　 目前国际上同步辐射装置中普遍采用的光学检测设备主要有长程面形仪(LTP)和面形干涉仪。但由于LTP是单光束扫描的测量仪器，受到其光路和机械结构的限制，它每次测量只能得到一维的数据，而且对于待测镜的放置也有限制。面形干涉仪常规检测条件下难以获得口径达到1m的设备。　　 为实现用小口径面形干涉仪完成对大口径光学镜面面形的检测，本文对斜入射检测方法进行了研究，增大投射到待测镜上光斑的尺寸，从而增大干涉仪检测的镜面口径范围。推导了斜入射法检测平面反射镜面形的公式，并考虑了此方法可能引入的误差。对尺寸为124mm×42mm的平面反射镜分别存垂直和不同斜入射角条件下进行了测量，垂直入射时测得镜子工作表面面形起伏高度均方根(RMS)和峰谷值(peak-to-valley)分别为和16.3nm和67.8nm，斜入射时测得镜子工作表而的而形起伏高度均方根和峰谷值分别为16.8nm和68.7nm，相对误差分别为3％和0.9％，可以满足第三代同步辐射光束线的要求。实验结果表明，该方法稳定可靠，操作方便，可以用来检测大口径光学镜面。