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CMOS图像传感器(CMOS Image Sensor,CIS)在空间光电探测领域获得了越来越广泛的应用。空间辐射环境作用于CIS可产生辐射损伤效应:电离总剂量效应、位移损伤、单粒子效应。目前,CIS电离总剂量效应的研究开展较多,而位移损伤研究开展相对较少,特别对于位移损伤导致的CIS热像素,还缺乏深入认识。然而,哈勃望远镜、美国中段探测试验卫星及NEOssat等卫星上都出现了空间位移损伤效应导致的CCD(Charge-Coupled Device,CCD)热像素,对卫星的光电探测性能产生了严重影响。因此,有必要针对位移损伤导致CIS热像素的规律与机理开展研究,从而可通过地面试验评估和预计CIS的空间环境适应性,并采取相应的应对措施,为CIS的空间应用提供科学依据与技术支撑。本文通过CIS的质子辐照试验及退火试验,研究了CMOS图像传感器在质子辐照下产生热像素的规律与机理。 本文基于目前光电成像器件位移损伤的研究方法,建立了针对CIS热像素的测试方法:先通过辐照前后器件暗场图像的采集与处理,获得位移损伤导致热像素的总体规律,然后分析单个热像素的变化规律,通过统计获得整体效应规律的同时,也可深入分析局部的规律与机理。 首先,针对CIS器件进行了3MeV和10MeV质子辐照实验。在实验过程中针对每种能量质子进行了多个注量点测试。实验结果表明3MeV质子产生的热像素数量大于10MeV质子,但是热像素亮度不如10MeV质子。而对于每种亮度的热像素,其数量都随着注量的提升呈线性增加。 然后对辐照后的器件进行了变温测试,利用变温测试的结果进行了暗电流激活能的计算。激活能的结果表明,对于深亚微米的CMOS图像传感器,不存在电场增强效应。 最后对CIS器件进行了等温退火和等时退火实验。等温退火实验表明,热像素数量随时间呈指数下降趋势,亮度越高的热像素退火越显著,且3MeV质子产生的热像素相对而言更容易退火。等时退火实验表明,热像素分别在80℃附近以及120℃之后有明显的退火。