低刚度零件或缘于薄壁和细长结构，或缘于材料弹性模量低，在切削过程中因切削力的作用产生变形误差，影响加工的精度和质量。因刚度低，在加工误差形成的诸要素中，切削力产生的力致加工误差贡献最大，成为关键要素。本文研究低刚度零件数控加工导致的力致变形误差，以期根据误差计算结果，事先通过数控编程对数控机床的刀具轨迹作出补偿，提高加工质量和效率。根据切削原理的切削力-进给量模型，以及基于工件类型的结构力学的切削力-变形模型，建立了加工误差的数学迭代算法。针对轴类零件的车削加工、平面薄壁零件和曲面薄壁零件的铣削加工，分别采用解析迭代和有限元迭代算法，计算其变形误差。在所有算例中，均验证了迭代算法的收敛性和可靠性，表明本文迭代算法能够快速收敛，效率高；也通过与精确解、文献提供的实验值进行比较，表明本文算法的高精度。本文借助的主要分析工具为ANSYS有限元软件。详细介绍了软件在用于加工误差分析时的使用方法，利用ANSYS的造型功能直接造型和生成有限元网格，讨论了单元选择、载荷处置、边界条件处置、计算结果提取和显示等关键环节，为本文建立的理论模型用于工程实践提供了范例。