TiN纳米晶粒尺寸对薄膜力学性能影响的分子动力学研究

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本文使用分子动力学软件包lammps基于2NN MEAM势分别对TiN单晶、多晶材料进行了计算机仿真研究,以探究各种因素对TiN材料硬度的影响。首先,为了选择一个适用于课题研究的有效作用势,本文分别对Si的六种不同作用势进行了对比验证。研究发现,2NN MEAM势更适用于描述材料的力学性能,因而更适用于本课题的研究。随后使用分子动力学软件包lammps基于2NN MEAM势模拟了单晶氮化钛纳米杆的轴向拉伸破坏过程,计算得到应力-应变关系曲线,分析了沿[100]、[111]两种晶向拉伸下的不同截面尺寸、不同拉伸应变率、不同温度下的氮化钛纳米杆的力学性能,详细描述了氮化钛纳米杆拉伸变形过程。在对TiN多晶体的仿真研究过程中,为了使仿真结果更接近自然环境,通过编程方法基于Voronoi算法构建了TiN多晶体模型,并控制其晶粒尺寸的分布。最后,使用lammps软件包模拟了多晶氮化钛轴向拉伸及压缩过程,详细描述了整个过程中晶粒、晶界及微观粒子的运动,计算得到应力-应变关系曲线,分析了不同晶粒尺寸、不同拉伸应变率及不同工作温度对多晶氮化钛力学性能的影响。通过上述研究,主要得到了以下研究成果:1)2NN MEAM势更适用于描述材料的力学性能,其它类型的作用势在仿真热力学性质等其它方面具有优势。使用2NN MEAM势计算得到的TiN的各种力学性能均与实际相符合,表明2NN MEAM势及分子动力学可以应用于仿真研究TiN材料。2)对于TiN单晶材料而言,拉伸晶向、截面尺寸、应变率及温度均会对TiN纳米杆的拉伸变形过程及力学性能产生不同程度的影响。沿[100]晶向的拉伸,截面尺寸越大,屈服强度越低;而沿[111]晶向,截面尺寸越大,屈服强度越大。应变率越高,温度越低,屈服强度与弹性模量越大。不同拉伸条件下的氮化钛纳米杆的拉伸过程均包括弹性变形、塑性变形与断裂阶段。[100]晶向的弹性模量都要高于[111]晶向。3)对于TiN多晶材料而言,晶粒及晶界的不同运动机制对屈服强度产生了重要影响。在拉伸仿真过程中,屈服强度随着晶粒尺寸的变化出现正、逆Hall-Petch关系;在压缩仿真过程中,晶界处的变形机制使压缩过程的屈服强度随晶粒尺寸增大而增大,最后屈服强度值趋于稳定。对拉伸及压缩过程中的结果进行比较分析,最终得出结论,TiN多晶体平均晶粒尺寸在3nm到5nm之间时,可以使材料的硬度达到最高。拉伸及压缩过程中,临界晶粒尺寸、高应变率、低温可以促进多晶材料的强化,晶界的强度是影响TiN多晶体强度的重要因素。因此如果在晶界附近掺杂其他元素来强化晶界处原子的键合能力,或增大晶粒之间的相互运动的阻力,可以有效提高TiN多晶体材料的强度。
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