【摘 要】
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在真空紫外软X射线(XUV)光学系统的设计和优化中,聚焦光学系统发挥着非常重要的作用。Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜应用两块相互正交的聚焦镜,分别对光源在子午和弧矢方向进行聚
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在真空紫外软X射线(XUV)光学系统的设计和优化中,聚焦光学系统发挥着非常重要的作用。Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜应用两块相互正交的聚焦镜,分别对光源在子午和弧矢方向进行聚焦,它的优点是聚焦系统的成像与波长无关,且子午和弧矢方向聚焦耦合较小,便于装校;但在要求光束接收角较大时,像差仍然是个问题。近年来它广泛应用于生物、医疗、同步辐射、惯性约束聚变(ICF)、和空间光学研究领域。另外,在设计光学系统中,系统的像差几何特征为系统的成像质量提供了一种直观的理解,而平面对称光学系统的像差几何特征,前人很少有人研究过。
本文的主要研究内容如下:
1.基于Lu发展的平面对称光栅系统的像差理论,将它推广到KB正交光学系统的像差分析。针对二维视场的光源,将KB系统两块相互正交的镜子作为一个整体,应用波像差方法导出了其精确的像差公式,克服了以往在设计KB系统时,仪采用单元件的近似像差公式进行解析分析的不足。应用Shadow光线追迹程序对结果表达式进行了数值验证。
2.根据波像差理论关于折射光学系统的推广结果,导出了轴对称透镜系统的赛德尔初级像差,充分说明了Lu的波像差理论的正确性及普遍性。
3.基于轴对称光学系统的像差几何特征(球差,彗差,像散,场曲,畸变)的定义,应用我们的平面对称光学系统像差理论,通过计算各种像差的光线点列图,分别比较了平面对称和轴对称光学系统的像差几何特征的区别。
本文的研究工作,拓展了波像差理论的应用范围,并研究了平面对称和轴对称光学系统之间的联系和区别,为光学系统的像差分析和优化设计提供了依据。
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