论文部分内容阅读
噪声在μg级别的高分辨率加速度计有着广泛的应用,包括惯性导航,空间微重力测量,倾斜控制,平台稳定,地震监测等方面。电容式加速度计因其高灵敏度,低温度系数,低功耗,结构简单等优势,所以,适合于低噪声加速度系统设计。在接口电路方面,微机械ΣΔ数字接口电路由于其结构简单、受模拟电路部分精度的影响小、输出数字信号等优点得到关注。本文设计一款五阶高Q值高稳定的数字式加速度计接口电路。系统其等效输入噪声近似为0.4μg/√Hz。高Q值敏感结构导致二阶机械结构处于欠阻尼状态,增加表头的反应延迟。另外,根据相关文章