【摘 要】
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近年来随着新材料应用领域的不断扩大以及磨削新工艺的发展,作为超精密加工方法之一的超精密削技术得到了日益重视,其应用领域也在不断扩大.该文在全面分析国外超精密平面磨
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近年来随着新材料应用领域的不断扩大以及磨削新工艺的发展,作为超精密加工方法之一的超精密削技术得到了日益重视,其应用领域也在不断扩大.该文在全面分析国外超精密平面磨床的基础上,确立了以CNC超精密平面磨床中的关键技术为主要研究内容,并通过应用这些技术最终研制成功该设备,为进行超精密磨削技术的研究打下扎实的基础.课题研究内容信要包括:超精密平面磨床总体结构设计,中置砂轮主轴、导轨及其驱动系统的研制,液体静压谐波摩擦传动装置的研制,砂轮微量进给系统的研制,平面度误差测量系统的研究等.
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