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X射线成像常常用来诊断惯性约束聚变的靶目标。在惯性约束聚变中,为了探查激光驱动聚爆的流体动力学过程,需要高的空间分辨率和快的时间分辨率的成像系统。由于X射线波长很短,绝大多数材料对X射线的折射率略小于1,且在空气中和介质中易被强烈吸收,因此在X射线区域难以找到合适的成像透镜,X射线成像只能采用透射或者反射的成像方法。环形编码孔径是透射成像方法的代表之一,是X光成像技术中一种比较好的解决方案。在保留了高分辨率和高的信噪比的前提下,它的集光效率有了数量级的增加,可在弱的X射线下获得目标的图像。 本文研究的主要目的是研制环形编码孔径显微镜,获取激光受控聚变过程中各个阶段的高质量图像,为进一步研究ICF的流体动力学规律提供依据。 编码孔径成像实际上是一种两步成像过程,第一步是用X射线编码孔径相机尽可能多地收集X射线源(靶标)的信息,得到目标的重叠像.第二步是利用光学方法或计算机对所获得的重叠像进行处理和重构,以便恢复原目标的清晰像,本文在图像恢复和解码中采用的是维纳滤波的方法。 环形孔径编码显微镜应用孔径编码成像技术,其环形孔径是由厚的照相平板印刷术和电镀得组合来制作的。该成像设备作为X光成像和诊断技术,主要应用于惯性约束聚变(ICF)中,可实现对被测目标高空间分辨率(5-10μm)成像。 本文制备的编码孔径成像显微镜已经成功的运用于“神光二号”激光聚变的X光诊断中,实验证明,所设计的环形编码孔径显微镜可以成功地正常成像,动作灵活,精度很高,达到了实用化程度的要求,也证明本环形编码孔径显微镜设计理论正确,工艺科学。