随着微电子和计算机技术的发展，数控系统机构性能得到很大的改善，数控机床加工过程的控制先进化程度和精确度要求也越来越高。但是，随着数控机床的快速发展，其制造出的零件质量和精度的要求也会更严格。加工精度是用来衡量数控机床加工性能的重要指标。但是零件的加工精度又受到机床误差的制约。对误差进行补偿也就成为提高五轴数控机床加工精度问题的关键，误差的测量和建模技术是误差补偿的关键技术，该技术也就成为研究问题的重点。本文在参阅大量相关文献的基础上，对五轴数控机床几何误差模型的建立和通过精度综合数学模型利用遗传算法反求机床零件精度参数进行了研究。在机床几何误差建模方面：通过分析机床误差的产生原因，基于多体系统理论的方法，以低序体序列描述针对RTTTR类型的五轴机床的机构系统的拓扑结构关系，用齐次特征矩阵的方法计算机构中各个体之间的相对运动关系，最后建立机床几何误差模型。通过精度综合数学模型反求机床零部件精度参数方面：根据得出的机床几何误差模型，借鉴类比尺寸链的方法，得到用于精度综合的模型，基于几何误差辨识的10线法理论，提出用线位移误差来近似的表示角位移误差和垂直度误差，采用误差相关程度法来确定成本系数。最后以公差-加工成本最低和满足加工精度为目标，得到机床的精度综合数学模型。根据遗传算法的基本原理和运算流程，采用MATLAB遗传算法工具箱编辑相应代码，对所建立的模型进行参数优化，最终可得到参数的最优解。文章最后给出实验验证具体事例，根据MATLAB遗传算法工具箱的应用步骤及方法，代入相关数据，从得到的优化数据跟经验值做对比，从而验证此过程的可行性。