阵列式大口径伺服反射镜架的研究

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作为一个跨世纪的超级工程,以激光惯性约束核聚变为技术核心的神光Ⅲ项目是我国未来十年的科研重点。其中,电动反射镜架是神光Ⅲ靶场系统中入射激光进入终端组件前的最后一套调整装置,其性能优劣直接决定了打靶的精度。针对靶场系统未来发展趋势的需要,本文对现有的单个镜架进行了集成,设计出了四路集成阵列式电动反射镜架,并对反射镜架的静态特性和动态特性进行了仿真分析和实验研究。  首先,在总结国内外先进镜架结构和工作原理的基础上,提出了全新的三点支撑式多路集成电动反射镜架设计方案。采用模块式设计方法,设计出了反射镜架的框体组件、支撑组件和驱动组件三个部分,并在原理和精度方面进行了分析计算。  其次,应用Ansys有限元分析软件对镜架进行了结构静力分析和结构动力分析。先是分析了镜片的夹持应力和变形,然后又分析了整体结构的应力和变形。最后对镜架结构进行了模态分析,得到了系统的固有频率和振型,进而了解了结构的稳定性情况,在理论上验证了结构的可靠性。  最后,对镜架进行了步进精度和固有频率的实验测定。通过数据处理,得到了前五阶固有频率。通过对不同结构的镜架进行的固有频率测试实验,了解了各种镜架结构的自身特点及造成稳定性不同的因素。对实验结果,进行了详细的分析与探讨。对设计中可能出现的问题,提出了具体的解决办法。进一步证明了设计方案的可行性。
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